52633, 334153, 488881, 658801, 2455921, 4767841, 4903921, 5049001, 5148001, 6189121, 6868261, 8830801, 8927101, 9439201, 9494101, 9582145, 9585541, 10877581, 14469841, 14676481, 14913991, 15247621, 17236801, 17316001, 17586361, 18162001, 20964961, 26474581, 33596641, 34196401, 35571601, 37280881, 38637361, 42490801, 43584481, 48321001, 60957361, 62756641, 64774081, 74165065, 75681541, 78091201, 81926461, 92625121, 101957401, 104852881, 107714881, 109393201, 109577161, 118901521, 120981601, 122785741, 127664461, 129255841, 136625941, 157731841, 159492061, 161913961, 171454321, 173085121, 178482151, 181154701, 213835861, 214850881, 216821881, 247095361, 255160621, 277241401, 278152381, 280067761, 280761481, 288120421, 306871201, 318266641, 357380101, 368113411, 393122521, 393513121, 395044651, 413058601, 413138881, 416964241, 440707345, 455106601, 461854261, 471905281, 481239361, 490503601, 496050841, 510825601, 527761081, 532758241, 545363281, 545570641, 547652161, 564651361, 568227241, 612816751, 625060801, 631071001, 702683101, 704934361, 711374401, 722923201, 832060801, 841340521, 851703301, 934784929, 940123801, 955134181, 958762729.